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研究方向·个人简介

清华大学机械工程系路新春教授是我国集成电路装备与技术领域的主要领军人物，面向国家重大战略需求，长期从事纳米摩擦学与超精表面制造研究，并聚焦于CMP、减薄、离子注入等超精密加工装备研发与产业化。他主持了12项国家级重大科研项目，建立了化学机械耦合原子级材料去除机理、马兰戈尼干燥动力学理论，提出摩擦力终点检测新方法、磨削-CMP一体化减薄新方法，带领团队攻克了多区压力调控、超洁净清洗、减薄面形调控等核心技术，成功研制出我国首台12英寸CMP装备和12英寸磨削抛光一体化减薄装备，解决了我国在该领域的“卡脖子”问题。通过成果转化，他于2013年创立了华海清科股份有限公司，实现了国产CMP装备和减薄装备的规模化应用，并于2022年在科创板成功上市。获授权发明专利249件，发表高水平论文200余篇，他引5000余次。获国家技术发明一等奖1项(排1)、国家科技进步二等奖1项(排2)、国家自然科学二等奖1项(排3)，曾获全国五一劳动奖章、全国劳动模范等荣誉，并入选国家科技创新创业人才计划。

为推进高端离子注入装备国产化，加强团队等离子体和离子束专业队伍的培养建设，课题组现诚聘等离子学科的博士后研究人员2-3名。

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拟从事研究内容和研究计划

●　射频等离子体源研究

●　等离子体仿真模型研发和实验验证

●　长寿命负氢离子源开发

任职要求

●　具有博士学位，品学兼优，身体健康，年龄在35周岁以下，获得博士学位的年限一般不超过3年。

●　具有等离子学科的博士学位，深刻理解等离子体的产生、维持、输运、鞘层形成、碰撞过程(激发、电离、解离)等基本原理。独立承担过射频等离子体源开发，或者独立完成ICP/CPP等离子体系统的仿真建模及计算。

●　学术态度端正，无职业道德问题，热爱科研工作，自驱动力强，具有较强的实验动手和团队合作能力。

注：招聘博士后由清华大学与华海清科股份有限公司联合培养

●　工作地点：天津/北京

●　待遇：面谈

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应聘材料/申请方式

符合上述条件的应聘者，请将应聘材料(包括个人简历、科研经历概述、代表性科研成果等)发到邮箱：(lifeizhang@tsinghua.edu.cn)。邮件标题注明“姓名-毕业院校-申请岗位名称”。通过初选者电话通知安排面试，未通知面试者不再另发通知。申请人经面试通过后可立即开始工作。我们将对申请材料严格保密。